某科技公司多晶硅原料提纯新工艺项目
主要技术参数：
处理介质：10000t/a四氯化硅反应器合成气
处理气量：700Nm3/h
运行温度：300~600℃
工艺气体净化指标：过滤后含尘量≤5mg/Nm3
